ஓம் சிவாய நம

ஓம் சிவாய நம

சி - சிவன்
வா - அருள்
ய - உயிர்

நம - மும்மலங்கள் [மாயை,ஆணவம்,கர்வம்]

ஸ்தூலபஞ்சாட்சரம்-------- நமசிவாய
சூட்சுமபஞ்சாட்சரம்---------சிவயநம
அதி சூட்சுமபஞ்சாட்சரம்--சிவய சிவ
காரண பஞ்சாட்சரம்-------- சிவ சிவ

இம்மந்திரத்தை சொல்லி இறைவனை வேண்டும்போது, கர்வம், ஆணவம் மற்றும் உலக மாயையிலிருந்து விடுபடலாம்.